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인천대·아주대 개발 반도체 연구장비…11억7500만원 기술이전
www.viva100.com
| 2023-12-20
이 기술은 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성
금속
박막
을 형성할 수 있는 원자층
증착
공정(ALD)을 이용, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성
박막
을 매우 반도체 원자층...
[아주대,차세대 반도체 측정 전자현미경 코팅 장비·공정 기술 개발
biz.heraldcorp.com
| 2023-12-20
이 기술은 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성
금속
박막
을 형성할 수 있는 원자층
증착
공정(ALD)을 이용, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성
박막
을 매우
[반도체의 내일을 본다⑧] 반암 "도심에서 만드는 친환경 반도체"
www.viva100.com
| 2023-08-29
있고, 전문적으로
박막
을 하는 게 아니라면 어렵다”고 했다.한 대표는 한국과학기술연구원 출신으로
금속
산화물 반도체
박막
화 연구를 해온 전문가다. (사진=반암) 마이크로 파운드리라는 개념 자...