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인천대·아주대 개발 반도체 연구장비…11억7500만원 기술이전
www.viva100.com
| 2023-12-20
이 기술은 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성금속 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(ALD)을 이용, 미세한
요철
이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 해당 기술은 ...