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• 인텔, 고개구율 EUV 상용화 선점...TSMC·삼성보다 앞서 [지디넷코리아]미국 종합반도체기업(IDM) 인텔이 네덜란드 반도체 노광장비업체 ASML의 고개구율(High-NA) 극자외선(EUV)를 활용해 첫 상용 생산에 돌입했다. 작년 12월에는 2세대 장비인 '트윈스캔 EXE:5200B'를 인수했다.인텔은 당초 1.8나노급 '인텔 18A' 공정에는 기존 0.33NA EUV를 유지하고, 고개구율 EUV는 후속 zdnet.co.kr · 2026.07.16