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• SiO2 모래에서 반도체까지, 쵸크랄스키법 웨이퍼 형성단계 MGS(Metallurgical Grade Si, 야금학적 등급 실리콘)이라고 하며, 백만분의 수백, 수천 개의 중금속(Fe, Al 등)이 포함되어있다.(100~1000PPM, Part Per Million) Si의 밀도는 5x10^22 atoms/cm^3 이므로, Si의 1ppm은 5x10^16 atoms/cm^3 이다. blog.naver.com · 2020.03.25